摘要
在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒,并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离。本文主要论述气流对微粒运动的影响,在微环境SMIF系统中的气流状况,以及影响微环境中的气流因素进行分析。
The SMIF/minienvironment system is more efficient to reduce the small particle, and it is separated from human operation and the machine. This purpose of this paper is to discuss the motion of particles in air flow, the air flow situation in the SMIF / minienvironment, and analysis the factors.
出处
《制冷与空调（四川）》
2007年第1期89-91,88,共4页
Refrigeration and Air Conditioning
