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全新轻型激光干涉仪测量系统——XL-80的性能、易用性和便携性
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摘要
在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的需求,现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。
机构地区
雷尼绍(香港)有限公司
出处
《上海计量测试》
2007年第2期34-34,共1页
Shanghai Measurement and Testing
关键词
干涉仪测量系统
激光干涉仪
性能
便携性
易用性
轻型
运动系统
激光系统
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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上海计量测试
2007年 第2期
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