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Ti—Co—O尖晶石对形成CoSi2外延层有重要作用

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作者 敏键
出处 《电子材料快报》 1996年第2期14-15,共2页
关键词 COSI2 半导体薄膜 外延层 Ti-Co-O尖晶石
分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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电子材料快报
1996年 第2期

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