集成电路芯片机器视觉检测技术研究

针对芯片制造后道工序的需求，拟开发基于精密图像光学检测的IC全自动分捡杌以提高IC芯片的合格率和降低检测时间。本项目设备的研制，对实现半导体生产专用设备的国产化，缩短与世界先进水平的差距有着重要的意义，同时研制的IC全自动分捡杌将会具有广阔的市场应用前景和较大的社会效益。