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泽尔尼,打造自己的CD检测设备

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摘要 从事半导体设备研发和制造并有所成就的本土公司本来就不多.而专注于半导体检测设备的公司更是屈指可数.上海泽尔尼仪器有限公司就是其中一家.研发方向是半导体6—12寸晶圆/掩膜版CD的检测.并已有了自己的用户。
作者 钱敏
出处 《集成电路应用》 2007年第3期18-18,共1页 Application of IC
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