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泽尔尼,打造自己的CD检测设备
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摘要
从事半导体设备研发和制造并有所成就的本土公司本来就不多.而专注于半导体检测设备的公司更是屈指可数.上海泽尔尼仪器有限公司就是其中一家.研发方向是半导体6—12寸晶圆/掩膜版CD的检测.并已有了自己的用户。
作者
钱敏
出处
《集成电路应用》
2007年第3期18-18,共1页
Application of IC
关键词
检测设备
CD
半导体设备
12寸晶圆
掩膜版
研发
仪器
分类号
TP333.4 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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集成电路应用
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