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MEMS跨越“借用”封装的时代
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摘要
在过去十年里.微机电系统(MEMS)大量地”借用”那些起初是为军方高可靠性应用而开发的封装技术。虽然这类封装在MEMS中的表现良好.但与之相关的成本却高达单个MEMS器件价格70%。现在.随着晶圆级封装(WLP)和微流体技术的进步,MEMS封装技术也在不断演化发展。
作者
Sally Cole Johnson
机构地区
Semiconductor International
出处
《集成电路应用》
2007年第3期64-64,共1页
Application of IC
关键词
MEMS器件
封装技术
微机电系统
晶圆级封装
高可靠性
流体技术
类封装
分类号
TN405.94 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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