摘要
微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。
The mieroaccelerometer is an important crucial component of micro inertial measurement unit （MIMU）. With the development of MEMS technology ,technique of the single-axis microaceelerometers is already mature, study on the multi-axis microaccelerometers is becoming the hot issue in MEMS field. Through the introduction of some multi-axis microaccelerometers, new progress and the future trend in this field are discussed.
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第4期4-6,共3页
Transducer and Microsystem Technologies
基金
国家自然科学基金资助项目(10176040)
关键词
微机电系统
微加速度传感器
多轴
miaro-electro-mechanical system （MEMS）
microaccelerometer
multi-axis
