用振动补偿实现高精度塑料薄膜厚度检测

电容传感器常用来测量微小间距和薄片绝缘介质的厚度。由于电容测量的非接触特性,基于电容原理的塑料薄膜厚度测量可实现在线不间断测量。但是对于扫描测量,各种因素造成的极板间距变化直接影响厚度测量的精度。本文提出了双涡流传感器振动补偿方案,实时同步测量极板间距变化,对厚度计算进行补偿,提高了系统的测量精度。实际的测量数据验证了振动补偿方案对提高测量精度的有效性。