摘要
介绍了电磁式超精密微动工作台的驱动原理,对国内外电磁式微动台的研究现状和应用情况进行了综述,针对目前研究中存在的不足,讨论了电磁式超精密微动台研究的主要内容及方向。
This paper introduced principle of ultra- precision magnetic stage, investigated status of research and application both domestic and overseas. In order to solve the problems of resent research of this field , some possible research direction of ultra - precision magnetic stage are discussed.
出处
《现代机械》
2007年第2期1-3,共3页
Modern Machinery
基金
国家重点基础研究发展计划支持项目(2003cb716204)
关键词
电磁驱动
超精密微动台
研究现状
研究方向
magnetic drive
ultra- precision stage
current research condition
research direction
