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用纳米晶金刚石涂层涂覆电子器件用硅片
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摘要
美国良友公司可提供由先进金刚石工艺公司（ADT）制造的带纳米晶金刚石涂层的电子级硅片。涂层使用的是ADT公司的独特的超纳米晶金刚石（UNCD）。
作者
杨英惠（摘译）
出处
《现代材料动态》
2007年第4期11-12,共2页
Information of Advanced Materials
关键词
金刚石涂层
纳米晶
电子器件
硅片
涂覆
DT公司
电子级
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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