宽频响高灵敏度传声器

声学测量用电容传声器的频率响应范围和灵敏度，与所用振动膜材料的物理性质密切相关，理论表明金刚石具有优异的声学性能。本文利用多排直丝化学气相沉积技术，以Ｈ２＋ＣＨ４的混合气体为工作物质，在单晶硅片上沉积出了高质量的金刚石膜，并首次将该金刚石膜作为传声器振动膜，结果极大地拓宽了传声器的频率响应范围，提高了传声器的灵敏度。