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压电型微驱动器 被引量:6

Piezoelectric Micro Actuator
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摘要 提出了一种新的微纳米传动机构及其传动比的设计计算方法,并为实验所验证.介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统,工作稳定可靠,测控精度高,为微驱动器的研制成功打下了坚实基础,确保其性能技术指标达到了设计要求.
作者 徐锡林
出处 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期67-70,共4页 Journal of Shanghai Jiaotong University
基金 上海市自然科学发展基金
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献47

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引证文献6

二级引证文献11

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