新型高频复合振膜的研制

本文利用化学气相沉积方法，通过含碳气体的直流辉光放电分解过程，在球冠形金属高频振膜的两个表面上同时沉积出一定厚度的类金刚石碳膜，形成金属——类金刚石复合高频振膜。该振膜整体刚性高，没有应力变形。