微小型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用

等离子体是继气体、液体、固体后的第四种物质的聚集态。等离子体物理学是一门蓬勃发展的新兴科学,其应用领域包括受控热核聚变、空间科学、环境科学、微电子与信息产业、材料合成与处理、国防和高技术应用诸方面。目前,测量等离子体特征谱线最简单的方法就是使用荷兰Avantes公司的微小型、高分辨率、多通道光纤光谱仪。