抛光剂的制造与使用

本发明是关于一个可以加工出极高表面精度的抛光剂。比如，许多作为重要零件的玻璃材料的抛光，硅化合物，像硅片一样的半导体材料的抛光，在半导体设备制造过程中硅化合物的隔层绝缘膜的抛光．以及抛光剂的生产方法和使用方法。