衍射光学元件制作技术及未来展望被引量：5

Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements

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摘要回顾了衍射光学元件（ＤＯＥ）制作技术的发展过程，介绍了未来制作技术的发展以及元件演变的未来趋势。 Development process of fabrication technology for diffractive optical elements(DOE) is recalled in this paper.The fabrication technolgoy and its designing tendency in the future are introduced.

作者任延同付永启

机构地区中国科学院长春光学精密机械研究所

出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期7-11,共5页 Optics and Precision Engineering

关键词衍射光学元件二元光学元件制造工艺 Diffractive optical elements(DOE),Binary optical elements(BOE),Fabrication technology

分类号 TH74 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]

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光学精密工程

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