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组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究 被引量:2

Fabrication Technique Study of Glass Suction Needle Used in Assembling Micro Mechanical Elements
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摘要 建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置,研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺,对得到的结果进行了分析和讨论。 The study establishes a glass suction needle fabrication apparatus and concludes a technique for fabrication of glass suction needle.In the end of the fabrication result is analysed and discussed.
出处 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期54-57,共4页 Optics and Precision Engineering
基金 国家攀登计划B"微电子机械系统研究"中的分课题
关键词 微机械 组装用 玻璃针尖加工 机械加工工艺 MEMS,Fabrication technique for glass needle
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