摘要
建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置,研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺,对得到的结果进行了分析和讨论。
The study establishes a glass suction needle fabrication apparatus and concludes a technique for fabrication of glass suction needle.In the end of the fabrication result is analysed and discussed.
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1997年第2期54-57,共4页
Optics and Precision Engineering
基金
国家攀登计划B"微电子机械系统研究"中的分课题