摘要
提出了一个用相干分辨的外差干涉仪进行光学系统表面检测的方法。利用相干长度短的光源和位置探测器。该方法具有表面选择性。
A coherent resolved heterodyne interferometer was used to check surfaces of optical objects Owing to a short coherencel ength light source and a position sensitive detection device,the measurements showed high resolution and short measuring time
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
1997年第2期37-40,33,共5页
Infrared Technology
关键词
外差干涉仪
表面检测
位置探测器
光学系统
Heterodyne interferometer Optical surface measurement Position sense detector
