微机械加工技术-硅的各向异性刻蚀被引量：3

Micromachining Technologies-Anisotropic Silicon Etching Technologies

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摘要简要介绍了在强碱溶液中硅的各向异性刻蚀性质和凸角补偿技术。 The main properties of anisotropic etching and the compensation ofconvex corners are briefly presented.

作者张光照刘焱

机构地区东北传感技术研究所

出处《传感器技术》 CSCD 1997年第1期56-59,共4页 Journal of Transducer Technology

关键词硅各向异性刻蚀微机械加工 Silicon Anisotropic Etching Compensation Convex corners

同被引文献14

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传感器技术

1997年第1期

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