我国创造激光纳米加工分辨率最新世界纪录

中科院物理化学研究所自主研发的具有国际水平的“纳米光子学超细微加工系统”近期取得了一系列重要研究成果，其中在纳米加工分辨率研究方面，实现了线宽为50nm的加工分辨率，并制备出直径为18nm的悬空纳米线，创造了激光纳米加工分辨率的最新“世界记录”。研究水平已处于同类研究的国际领先水平，引起了国内外关注，国内外多家研究组表达了合作意向。