摘要
综述了在微纳加工领域的最新技术发展—软刻蚀技术(soft lithography)和扫描探针刻蚀技术(scanning probe lithography),其中着重描述了软刻蚀技术中的复制模塑技术(repli camolding,REM)和扫描探针刻蚀技术中的电致刻蚀加工技术,阐述了它们各自的加工原理和特点,并应用这些技术制作出一些周期性微纳织构表面。
出处
《新技术新工艺》
2007年第5期110-112,共3页
New Technology & New Process
基金
国家自然科学基金资助项目(50435030)