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微纳表面结构加工技术研究 被引量：2

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摘要 综述了在微纳加工领域的最新技术发展—软刻蚀技术(soft lithography)和扫描探针刻蚀技术(scanning probe lithography),其中着重描述了软刻蚀技术中的复制模塑技术(repli camolding,REM)和扫描探针刻蚀技术中的电致刻蚀加工技术,阐述了它们各自的加工原理和特点,并应用这些技术制作出一些周期性微纳织构表面。
作者 杨加宏 周明 言峰 郑傲然
机构地区 江苏大学光子制造科学中心
出处 《新技术新工艺》 2007年第5期110-112,共3页 New Technology & New Process
基金 国家自然科学基金资助项目(50435030)
关键词 软刻蚀 扫描探针刻蚀 复制模塑法 电致刻蚀法
分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
  • 相关文献

参考文献11

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同被引文献36

引证文献2

二级引证文献18

新技术新工艺
2007年 第5期

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