期刊文献+

纳米压印跃过IDM龙门

下载PDF
导出
摘要 虽然纳米压印光刻在最近更新的ITRS中排名有所下滑(在22和16nm节点的潜在解决方案中,无掩膜光刻排到了它的前面),但Molecular Imprints Inc.(MII)公司还是宣布了它在这项技术上所取得的最新成绩,即将一台用于下一代光刻(NGL)的Imprio 250设备发售给一家主要的存储器芯片制造商。
出处 《集成电路应用》 2007年第4期34-34,共1页 Application of IC
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部