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基于80C196KC的单晶炉等径控制系统设计 被引量:2

The Design by Using 80C196KC Chip of Single-crystal Furnace's Equal Diameter Control System
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摘要 等径生长控制系统是单晶炉上的重要组成部分,其性能对于单晶的生长至关重要。以80C196KC单片机作为控制系统的核心部件,采用PID算法以及其他的软硬件设计,实现了一整套单晶炉生长控制的设计方案。 Equal diameter growing control system is the important component of Silicon Crystal Growing Furnaces. The performance of Equal- diameter growing control system is very important to the silicon crystal growing process..We implement a project for controlling silicon crystal growing which using 80C 196KC chip as its core, adopting PID arithmetic and designing some other hardware and software.
出处 《电子工业专用设备》 2007年第4期49-52,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 单晶炉 80C196KC 等径控制 Single-crystal Furnace 80C 196KC Equal-diametre control
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