Princeton小组加深对纳米压印的理解

最近．普林斯顿大学（Pdnceton University）的研究人员在Nanotechnology（（纳米技术》杂志上发表了两篇论文．介绍了他们在纳米压印光刻（NIL）领域内的重大进展．推动这项技术向着成为可行的、用于主流半导体制造的下一代光刻技术（NGL）选择方案迈进了几大步。