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通过硅再设计来解决栅泄漏问题

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摘要 通过采用能带工程技术来再设计基本的硅沟道技术,一种新型的硅上硅(silicon-on-silicon)工艺能够大幅降低标准CMOS工艺中的栅泄漏,而不用引入可能带来混乱的新材料,也不需要对标准的CMOS制造流程做出太大的改动。
机构地区 MEARS Technologies
出处 《集成电路应用》 2007年第5期30-32,共3页 Application of IC
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