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通过硅再设计来解决栅泄漏问题
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摘要
通过采用能带工程技术来再设计基本的硅沟道技术,一种新型的硅上硅(silicon-on-silicon)工艺能够大幅降低标准CMOS工艺中的栅泄漏,而不用引入可能带来混乱的新材料,也不需要对标准的CMOS制造流程做出太大的改动。
作者
Robert J.Mears
机构地区
MEARS Technologies
出处
《集成电路应用》
2007年第5期30-32,共3页
Application of IC
关键词
泄漏问题
再设计
CMOS工艺
硅
沟道技术
工程技术
制造流程
新材料
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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集成电路应用
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