侧墙计量有望顺利迈入32nm节点
摘要
随着技术节点的进步,AFM.
出处
《集成电路应用》
2007年第5期33-36,共4页
Application of IC
-
1卢敬叁,方毓文.光纤通信与计量技术[J].中国技术监督,1994(9):20-21.
-
2达道安,吕时良.美国真空计量技术简介[J].航天出国考察技术报告,1996(2):60-65.
-
3光纤参数、测试及设备[J].中国光学,1994(2):57-58.
-
4刘允.波形监视器计量技术规范和检定方法编制说明[J].广播与电视技术,1991(1):5-8.
-
5杨柏梁,张传平,黄锡珉,于锡玲.用激光衍射计量技术对CdTe单晶生长的研究[J].Journal of Semiconductors,1991,12(10):596-600.
-
6杨冶平,黎高平,杨斌,王雷.现场激光能量计量技术的研究[J].应用光学,2007,28(4):508-512. 被引量:4
-
7Alexander E. Braun.CD-SEM如何与散射成像相互补充[J].集成电路应用,2009,26(9):20-23. 被引量:2
-
8中国超过美国成为从德国进口电子产品第一大国[J].电子工业专用设备,2015,0(2):47-48.
-
9智能计量技术联合实验室落户杭州[J].化学分析计量,2010,19(5):54-54.
-
10光调制技术及器件[J].中国光学,1996(4):75-75.
;