半导体制程输送装置材料选择的关键

在半导体晶圆的制造过程中，低缺陷，高良品率的产品发受到各种因素和条件的影响，其中一个重要的因素是，必须在整个制造过程中保持良好的纯度和清洁度，除了要求半导体制造场所的清洁室设施和先进的化学加工生产线要具有足够的洁净度外，在整个制造过程中，以及制造完成后用于输送晶圆的设备所用材料也同样重要。