期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
一种亚微米级两座标微动伺服装置
被引量:
1
原文传递
导出
摘要
介绍了一种能同时实现轴向和径向微量过给的一两座标微动伺服装置。该装置由电致伸缩器件驱动,采用整体式双柔性铰链结构。以数字信号处理器TMS320C25为中心的控制系统自成体系,能实现高速输入输出操作和快速数学运算。文中主要阐述了其微进给原理、控制系统组成、控制方法,并对实验结果进行了详细的分析。实验结果表明,两座标微动伺服装置位移量大于±3μm,定位分辨率高于0.01μm。
作者
朱建忠
王世民
张明亮
机构地区
国防科技大学
出处
《航天工艺》
1997年第1期12-15,共4页
关键词
超精密加工
向量进给
数字信号
解耦控制
机械
分类号
TH16-39 [机械工程—机械制造及自动化]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
7
引证文献
1
二级引证文献
15
同被引文献
7
1
吴一辉,杨洪波.
纳米X-Y工作台固有频率特性的研究[J]
.光学精密工程,1995,3(6):50-54.
被引量:4
2
王建林.三维一体化超微定位技术及系统的研究[M].天津:天津大学,1997..
3
王建林,学位论文,1997年
4
Yang R Y,Precision Engineering,1996年,18卷,1期,20页
5
高鹏,袁哲俊,姚英学.
基于柔性铰链结构的新型双向微动工作台的研究[J]
.仪器仪表学报,1998,19(2):192-195.
被引量:10
6
张元良,刘欣,方加宝,郭丽莎,陈懋祈.
压电陶瓷的磁滞现象对位移精度的影响[J]
.制造技术与机床,1998(4):7-8.
被引量:5
7
张涛,孙立宁,蔡鹤皋.
压电陶瓷基本特性研究[J]
.光学精密工程,1998,6(5):26-32.
被引量:100
引证文献
1
1
孙涛,谭久彬,董申.
压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究[J]
.压电与声光,1999,21(6):493-497.
被引量:15
二级引证文献
15
1
曲东升,陈立国,李满天,乔遂龙.
微定位仿生机器人的设计与实验研究[J]
.压电与声光,2005,27(5):557-559.
2
刘国华,李亮玉.
压电式执行器用于超精密进给机构的技术研究[J]
.压电与声光,2006,28(4):411-413.
被引量:1
3
范伟,余晓芬.
压电陶瓷驱动器蠕变特性的研究[J]
.仪器仪表学报,2006,27(11):1383-1386.
被引量:27
4
刘国华,李亮玉.
压电驱动三维超微定位平台的性能研究[J]
.压电与声光,2007,29(3):289-291.
被引量:3
5
刘国华,李亮玉.
基于混合闭环控制器的三维超微定位平台的研究[J]
.压电与声光,2010,32(5):800-802.
被引量:2
6
李迎,孙亚飞.
基于增量PID的压电微位移器驱动控制系统开发[J]
.测控技术,2011,30(3):40-44.
被引量:6
7
孙涛,董申.
用于扩展SPM检测范围的精密定位系统[J]
.电子显微学报,2001,20(5):669-672.
8
刘涛,张心明.
基于柔性铰链杠杆放大机构的二维微位移平台设计[J]
.机械工程师,2014(12):165-168.
被引量:1
9
潘公宇,王申申.
基于压电自感减振器的振动控制研究[J]
.机电工程,2015,32(5):596-601.
被引量:1
10
高健,陈小国,张揽宇,周志强.
宏微复合平台的微运动动态模型研究[J]
.机械设计与制造,2017(2):62-66.
被引量:5
1
杨超,杜来林.
某型飞机进气道伺服装置测试系统的设计[J]
.液压与气动,2015,39(10):124-127.
被引量:1
2
朱鹤年.
编委来信[J]
.物理实验,2009,29(10):37-37.
3
刘欣,石忠晓,郭正刚.
基于DSP的起重机智能自学习安全监控系统[J]
.工程机械,2003,34(3):1-3.
被引量:3
4
任三平,李益民.
电致伸缩微位移机构中的预紧力分析[J]
.机械工艺师,1995(4):11-12.
被引量:2
5
余云安,张士祥.
液压结晶器振动台的伺服阀分析及修复[J]
.机械工程师,2008(3):93-94.
6
蔡鹤皋,孙立宁,安辉.
压电/电致伸缩微位移器件与应用(下)[J]
.高技术通讯,1994,4(6):37-40.
被引量:7
7
高鹏,袁哲俊,姚英学,高栋.
弹性薄膜──电致伸缩微进给机构研究[J]
.制造技术与机床,1997(2):34-36.
被引量:5
8
王伯雄,薛实福.
用电致伸缩微位移装置的显微镜自动调焦系统[J]
.LSI制造与测试,1990,11(6):20-24.
9
朴奇鏞,宋元萍.
离心泵实验室中的汽蚀试验[J]
.农机化研究,2005,27(5):174-175.
被引量:10
10
张定会,邵惠鹤.
柔性框架式爬行驱动器[J]
.自动化仪表,2000,21(2):16-18.
被引量:6
航天工艺
1997年 第1期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部