同被引文献15
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5 揭景耀.LIGA技术研究与进展[J] .电子器件,1997,20(2):20-27. 被引量：3
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7 刘维东.基于超声马达的电极直接驱动式微型电火花加工装置研究[博士学位论文].哈尔滨:哈尔滨工业大学,1998..
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引证文献5
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二级引证文献56
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5 周帼彦,涂善东.换热技术从大型化向微小化的发展[J] .热能动力工程,2005,20(5):447-454. 被引量：12
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