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基于压电陶瓷的摩擦式微进给机构的设计

Design of Frictional Micro-feed Mechanism Based on Piezoelectric Actuator
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摘要 采用摩擦驱动工作原理设计了大行程、高分辨率的步进式进给机构,该机构是压电陶瓷驱动的、滚珠丝杠传动并结合空气静压导轨实现微量进给;采用柔性4杆机构设计了压电陶瓷驱动的可调式预压装置;用有限元方法分析了柔性铰链的静态特性;对微进给机构的传动特性进行了详尽分析。 based on friction driving principle, designed a long stroke length and high resolution walking micro - feeding device that is driven by piezoelectric ceramic elements and combined with the screw shaft and aerostatic guide way. The adjustable preloading device driven by piezoelectric was designed by using flexible four - bar linkage. The static properties of the flexible linkage device are analyzed with FEM. The transmission characteristics of the micro - feeding device are exhaustively analyzed.
出处 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第6期25-28,共4页 Manufacturing Technology & Machine Tool
关键词 摩擦驱动 压电陶瓷 柔性铰链 有限元 Friction Drive Piezoelectric Actuator Flexure Hinge Finite Element
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二级参考文献22

  • 1杨宜民,李传芳,程良伦.仿生型步进式直线驱动器的研究[J].机器人,1994,16(1):37-39. 被引量:25
  • 2凌宁,官春林.变形反射镜的发展[J].光电工程,1995,22(1):14-22. 被引量:23
  • 3杨宜民,李传芳,周学才,李医民.高精度压电旋转驱动器的研制[J].机器人,1995,17(6):321-324. 被引量:3
  • 4王建林,刘文晖,胡晓东,胡小唐.压电微位移器在超微定位系统中的应用[J].压电与声光,1997,19(2):95-97. 被引量:12
  • 5高宏 李庆祥 等.亚微米弹性微位移工作台系统的设计及其精度分析[J].清华大学学报,1988,28(5):19-28.
  • 6胡敏.微细电火花加工装置研究[M].北京:清华大学,1997..
  • 7石黑明克 武滕英一 等.压电陶瓷驱动电磁铁活块式微驱动装置.昭和63年度精密工学会秋季大会学术讲演会讲演论文集[M].,1988.139-141.
  • 8SAKUTA S, UEDA K, OGAWA K, et al. Precision Dual Positioning System[J]. SPIE, 1990, 1334:10-17.
  • 9REAY N K. Sub-nanometer Precision Close-Loop Positioning for Optics and X-Y Stage Control Using Capacitance Displacement Sensors and Piezo-electric Actuators[J]. SHE, 1993, 2088:150-159.
  • 10HARB S, SMITH S T, CHETWYND D G. Subnanometer Behavior of a Capacitive Feedback, Piezoelectric Displacement Actuator[J]. Rev. Sci. Instrum, 1992, 63(2) : 1680-1689.

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