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诺发系统有限公司推出VECTOR Express——PECVD薄膜工艺生产效率和技术领先者
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摘要
2007年3月21日,中国上海.诺发系统有限公司(NOVELLUS)正式推出VECTOR Express?新产品。这是诺发公司300mm PECVD平台的最新增强版本,其工艺生产速度提高了40%,保持了业界领先的生产效率。此外,VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆,使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期547-547,共1页
Semiconductor Technology
关键词
EXPRESS
VECTOR
PECVD
薄膜工艺
生产效率
系统
技术
生产速度
分类号
TP393.098 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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半导体技术
2007年 第6期
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