诺发系统有限公司推出VECTOR Express——PECVD薄膜工艺生产效率和技术领先者

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摘要 2007年3月21日，中国上海．诺发系统有限公司（NOVELLUS）正式推出VECTOR Express？新产品。这是诺发公司300mm PECVD平台的最新增强版本，其工艺生产速度提高了40％，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期547-547,共1页 Semiconductor Technology

关键词 EXPRESS VECTOR PECVD 薄膜工艺生产效率系统技术生产速度

分类号 TP393.098 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]

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半导体技术

2007年第6期

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