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反射高能电子衍射系统（RHEED）

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摘要高能电子小角度（-2℃）掠射样品表面，可以得到电子衍射图像．通过分析电子衍射图像，可以进行表面晶体构造分析，晶体成长过程观察及成膜厚度的监控．

出处《物理》 CAS 北大核心 2007年第6期497-497,共1页 Physics

关键词反射高能电子衍射系统衍射图像构造分析成长过程小角度膜厚度表面

分类号 O484 [理学—固体物理]

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物理

2007年第6期

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