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XL-80轻巧型激光干涉仪测量系统在北京正式发布销售

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摘要 在超精密测量和校准方面,激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的发展需求,现有激光系统的某些性能已无法满足一些客户的要求。近日,畅销全球多年的ML10 Gold激光干涉仪的制造商——英国计量产品世家Renishaw公司推出又一力作XL-80轻巧型激光干涉仪,
机构地区 Renishaw公司供稿
出处 《模具工程》 2007年第6期48-48,共1页 Mould &Die Project
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