利用脉冲放电氦电离色谱检测高纯气体中微量无机杂质

利用脉冲放电氦电离色谱检测高纯气体中的微量无机杂质是近些年刚刚发展起来的一种新方法,它具有灵敏度高和检测限低等优点,可对高纯氮气、氧气、氢气以及稀有气体氦气、氖气、氩气、氪气、氙气中无机杂质进行定量分析。本文以实验室新近购买的脉冲放电氦电离色谱为例,简单介绍原理及其操作,并通过具体实例对高纯气体中无机杂质的定量分析时可能遇到的问题进行讨论。