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全新轻型激光干涉仪XL-80

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摘要 Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平,提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。系统预热时间缩短至大约仅6分钟,即使在最高的数据记录速率下,准确性可达到±0.5ppm(线性模式)和1纳米的分辨率,它比原有的ML10在重量和体积上减小了许多,气压、温度、湿度等环境参数影响的修正器也大大缩小了,所以,系统总重不到15公斤。
出处 《世界制造技术与装备市场》 2007年第3期94-94,共1页 World Manufacturing Engineering & Market
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