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摘要 LED将在10年内完全取代CCFL；Carl Zeiss将开发32nm掩模组对准测量设备；EIT采用奥宝激光直接成像和AOI设备。

出处《电子工业专用设备》 2007年第6期62-66,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词激光直接成像测量设备 CCFL Carl LED AOI EIT

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子工业专用设备

2007年第6期

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