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以铪材料为基础的45nm芯片技术

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摘要 英特尔(Intel)公司和IBM公司在关于近几年研究成果的联合声明中宣布,它们在下一代45nm芯片技术中运用了以铪材料为基础的非传导性绝缘材料制造晶体管。
出处 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期70-70,共1页 Modern Chemical Industry

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