单室圆柱靶磁控溅射镀膜机技改的尝试

针对当前国产的单圆柱靶磁控溅射镀膜机存在的问题，进行六项改造，使产品性能得到显著提高。整块玻璃的膜层厚度比较均匀，色差小，成品率也提高了。