应用材料的光刻方案:图形vs．印制

虽然应用材料公司（Applied Materials）并不以光刻而闻名．但它还是想提醒大家：光刻不是只有印制（printing）。正如应用材料公司的薄膜事业群总经理Farhad Moghadam在SPIE的先进光刻会议的新闻发布午宴上所概述的那样，光刻领域已经从传统的印制（曝光设备、工序系统、模膜版和光刻胶）扩展到包括前期准备、生产力、缺陷、图形转移、计量／检测和可制造性设计（DFM）等。