红外热像在混合集成电路热性能分析中的应用

本文介绍了红外热像法测温的基本原理及测量方法，说明了红外热像在混合 集成电路热性能分析的应用范围，并给出了应用实例，同时指出了红外热像法应用的前景和局限性。