期刊文献+

用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计 被引量:1

Design of High Precision Weighting System Used in Crystal Growing Process Monitoring
下载PDF
导出
摘要 针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢,且其制造过程中,现有称重系统准确度不够的问题,设计了一种在监测晶体生长过程中,重量变化的高精确度称重系统.采用高精确度称重传感器确保测量准确度,采用软件滤波的方法提高系统的抗干扰能力,同时通过系统上位机对晶体生长过程进行实时监控和重量曲线记录. Aiming at the problem that crystal weight varies slowly in manufacturing and present weighting sys- tems can not meet the request of precision and anti - interference capability, a weighting system with high precision is developed. Weight sensor with high precision is adopted to insure the testing veracity, software filter is used to improve the anti - interference capability, the process of crystal growth is monitored in real time and weight curve is recorded by host PC of the system.
出处 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2007年第2期114-116,120,共4页 Journal of Harbin University of Science and Technology
关键词 晶体生长过程 称重系统 LTC2400 crystal growing process weight system LTC2400
  • 相关文献

参考文献2

  • 1肖奇军,李胜勇,林益平,叶可东,岑朝汝,钟志和,郑汝林.智能电子称重系统[J].肇庆学院学报,2005,26(2):51-53. 被引量:17
  • 2Linear Technology Co.24-Bit μ Power △∑ADC in SO-8[Z].Linear Technology Co.,1998.

共引文献16

同被引文献4

引证文献1

二级引证文献1

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部