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卧式热壁型PECVD设备
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摘要
1、简介 我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺。
机构地区
北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
出处
《中国集成电路》
2007年第7期44-45,43,共3页
China lntegrated Circuit
关键词
CVD设备
PE
卧式
热壁
氮化硅薄膜
太阳能电池
制造领域
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN304.05 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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