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一种新型的离子镀用HCD枪

A New--Type HCD Gun for Ion Plating
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摘要 介绍一种偏转磁场和电场相平行的HCD枪(平行场枪)的研制结果。该装置由四个电磁场简化成只有一个磁极,结构简单、性能稳定、调试方便,实践证明是合理的。 A new--type hollow cathode discharge gun was developed for ion platingwith simple and rational design and stable performance, especially it is easyto debug. The gun is arranged as a deflecting magnetic field parallel to theelectric field, or an HCD gun of parallel fields. A satisfactory feature is thatfour electromagnetic fields in the old-type gun are now reduced to one, i. e.,the gun needs only one magnetic pole with no other magnetic focusing pole.
出处 《东北工学院学报》 CSCD 1989年第2期163-166,共4页
关键词 离子镀 阴极放电枪 空心式 ion plating hollow cathode discharge gun deflection focusing
  • 相关文献

参考文献2

  • 1张树林.HCD枪平行场偏转极的数学物理分析及电算模拟[J]真空,1984(02).
  • 2张树林.平行场空心阴极电子枪[P]中国专利:CN86201415.

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