IC工艺条件萃取程序的结构设计

介绍一个用于集成电路工艺条件自动萃取的程序结构。通过这个算法结构，半导体集成电路工艺模拟软件ＳＵＰＲＥＭ和计算机的作用被充分发挥。在这篇论文里，介绍了程序的组成和每个程序模块的功能，讨论了工艺条件调整的内容。