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哈尔滨工业大学微电子机械系统研究获新成果
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摘要
由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统(简称为MEMS)组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定.
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期896-896,共1页
Journal of Harbin Institute of Technology
关键词
微电子机械系统
哈尔滨工业大学
技术鉴定
操作设备
研究所
机器人
分类号
TP368.32 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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哈尔滨工业大学学报
2007年 第6期
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