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哈尔滨工业大学微电子机械系统研究获新成果

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摘要 由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统(简称为MEMS)组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定.
出处 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期896-896,共1页 Journal of Harbin Institute of Technology
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