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金刚石膜的制备方法及应用 被引量：2

Synthesis and Application of CVD Diamond Films
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摘要 简单介绍了金刚石膜的化学气相沉积的主要方法、应用及其最新进展,并对各种方法的优缺点作了简要说明。 The paper reviews the application of diamond films and the methods used for chemical vapor deposition diamond films at low pressure. The Advantages and disadvantages of these methods are also discussed respectively.
作者 赵利军 毕冬梅 王丽丽
机构地区 长春大学特殊教育学院 长春大学理学院
出处 《湖南科技学院学报》 2007年第9期47-48,58,共3页 Journal of Hunan University of Science and Engineering
关键词 金刚石膜 化学气相沉积 热丝 等离子体 diamond film CVD hot-filament plasma.
分类号 O484 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献11

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二级参考文献7

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  • 7蒋翔六，金刚石薄膜研究进展，1991年，7页

共引文献17

同被引文献44

引证文献2

二级引证文献2

湖南科技学院学报
2007年 第9期

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