锗（Ge）纳米锥激光加工技术

在微结构硅技术的启发下，美国科学家用激光在锗表面制造了更高精度的纳米锥结构（nanospike）。 加工中使用钛宝石激光1．4mJ脉冲照射锗晶片样品表面。脉冲波长800nm，持续时间130fs，重复频率1kHz。样品室内充以400mbar六氟化硫气体，起到绝缘和冷却作用。