期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
ZnO透明电极
下载PDF
职称材料
导出
摘要
日本高知工科大学利用住友重机械与该校联合研制的反应等离子蒸发设备在200mm×200mm玻璃基板上蒸镀氧化锌膜,其膜厚度为30nm,电阻率为4.4νΩ·m,达到ITO电阻率水准。现已研发1m。大面积氧化锌膜的蒸镀技术。因氧化锌膜导电膜具有性能优异,制造成本低等优势,将替代ITO膜。
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期277-277,共1页
Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays
关键词
透明电极
ZNO
氧化锌膜
ITO膜
玻璃基板
蒸发设备
工科大学
性能优异
分类号
TN873.91 [电子电信—信息与通信工程]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
谭军.
日本开发出以氧化锌取代铟制造液晶面板的技术[J]
.功能材料信息,2009(2):57-62.
2
时问诗.
硅衬底—氧化锌膜声电器件[J]
.电讯工程,1994(3):42-54.
3
Ma Yizhun Wang Zhiguang Yao Cunfeng Zang Hang Gou Jie.
Modification of ZnO Film Induced by 400 keV Xe^20+ Irradiation[J]
.近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版,2007(1):77-77.
4
马俊(译).
新的透明导电膜——氧化锌膜[J]
.中国玻璃,2006,31(1):45-48.
5
罗江财,王剑格.
电子束蒸镀半导体光电器件的增透膜[J]
.四川真空,1995(3):9-13.
6
于洪珍,王艳芬.
“通信电子电路”教材及其特色[J]
.煤炭高等教育,2002,20(4):63-63.
7
简讯[J]
.西安电子科技大学学报,2015,42(6):183-183.
8
代令,祁康成,林祖伦,陈文彬,李东方.
LaB_6场发射阵列牺牲层制备工艺[J]
.强激光与粒子束,2009,21(6):923-926.
9
刘志海,陶世坤,苑立波.
光通信实验系统:功能与测试[J]
.光电子技术与信息,2004,17(3):39-43.
被引量:1
10
HOU Chang-min,HUANG Ke-ke,GAO Zhong-min,LI Xiang-shan,FENG Shou-hua,ZHANG Yuan-tao,ZHU Hui-chao,DU Guo-tong.
Studies on Crystal Orientation of ZnO Film on Sapphire Using High-throughout X-ray Diffraction[J]
.Chemical Research in Chinese Universities,2007,23(1):1-4.
被引量:1
液晶与显示
2007年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部