微米/纳米技术浅谈——MEMS的构成和应用(二)

八十年代以来,美、日、西欧等一些国家十分重视微型机电系统(MEMS)的应用研究工作,并投入了大量人力物力,目前已取得许多成果,有成百种产品可实用或接近实用,其中有些已作为工业产品进入市场,受到全世界的瞩目。 MEMS的构成 MEMS是包括微型机构、微型传感器、微型执行器,以及信号处理和控制电路,直接接口、通讯和电源所组成的微型系统。