SMI硅微结构超低压力传感器

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摘要压力传感器技术是传感器技术中最早建立及发展起来的领域之一,但依然不能适应当前飞速发展的现实需要。主要问题是价格昂贵、输入-输出特性非线性严重以及难以敏感微小的压力。美国Silicon Microstructures Inc(SMI)(EXAR公司的一个全资子公司)开发了一系列低价位、线性度在0.

作者孙定浩

机构地区北京圣业科技发展有限公司

出处《世界电子元器件》 1997年第4期45-47,共3页 Global Electronics China

关键词压力传感器硅片微结构传感器

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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世界电子元器件

1997年第4期

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